最大測定範囲 X:200mm Z:200mm
分解能 0.1μm
最高レベルの測定精度を実現した非接触測定システムです。
測定範囲 X 300mm Y 225mm 移動範囲 150mm
分解能 0.5μm
測定範囲 X 700mm Y 700mm Z 600mm
XYステージ移動量: 400 x 200mm分解能: 0.1μm