ドライフィルムレジスト剥離剤
Melstrip DF-3810TF |
| ドライフィルムレジストを迅速に剥離可能です。 |
剥離片が極端に微細化しないため、剥離片を稼働浴から取り除くことが容易です。 | |
| はんだおよびすずめっき皮膜へのアタックが少なく、銅表面のアルカリ焼けを効果的に抑制します。 |
| 浴中の製剤濃度の分析管理が可能です。 |
| TMAHフリーのため取り扱いが容易です。 |
設備 |
● 浴槽 : テフロン、ステンレス、ポリプロピレン
● ヒーター : テフロン、ステンレス
● その他 : 排気装置、はく離片回収装置(ステンレス製メッシュ 50-300 mesh/inch)
作業液に関する注意事項 |
● 建浴液にはアミン化合物が含まれているため、硝酸塩、過酸化物などの強酸化剤や強酸と反応し、ガス発生する可能性がありますので、作業周辺の環境にご注意ください。
Melstrip DF-3850 |
| ドライフィルムレジストの剥離速度が速く、剥離片が微細化するためファインパターンにおけるドライフィルムレジスト剥離に最適です。 |
浴成分の分析管理が可能です。 |
微細配線における剥離性 |
| メルストリップ DF-3850は、セミアディティブ法で形成された微細配線におけるドライフィルムを効果的に剥離することができます。 |
剥離片の大きさ |
| 剥離されたたDFR剥離片の写真を示します。 セミアディティブプロセスで使用されるドライフィルムは密着力を向上させるために疎水性の材料を多く含みます。 メルストリップDF-3850は、効果的にドライフィルムに浸透、微細化させ、セミアディティブ法におけるドライフィルム剥離で効果を発揮します。 |
設備 |
● 浴槽 : テフロン、ステンレス、ポリプロピレン
● ヒーター : テフロン、ステンレス
● その他 : 排気装置、はく離片回収装置(ステンレス製メッシュ 120-150 mesh/inch)
作業液に関する注意事項 |
● 作業液はアルカリ性で刺激性がある。
● 作業液にはアミン化合物が含まれているため、硝酸塩、過酸化物などの強酸化剤や強酸との混触を避ける。